纯净的六氟化硫气体是无毒的。但在大电流下时。由于强烈的电弧放电会产生一些含硫的低氟化物，这些物质反应能力较强，当有水和氧气时，就会与电极材料水分进一步反应，从而分解产生有毒和剧毒气体。这些有毒气体主要是损害人体的呼吸系统，中毒后会出现类似于感冒、皮肤过敏、恶心呕吐、疲倦等不良反应。吸进大量时就会出现更亚严重的后果，所以工作时一定要注意防护。

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