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六氟化硫气体作为电子特气的用途有哪些

发布时间:2022-04-02 点击:196 次

    六氟化硫是一种无色、无味、无毒、不可燃的透明气体,在正常情况下有液化的可能。广泛用于电子设备的气体边缘、雷达波导、粒子加速器、变压器、避雷器等。半导体制造中的制冷治疗、蚀刻、化学沉积、标准气体、检漏气体和色谱仪的载气。

    主要用作电边缘介质和灭弧剂,可以保证电力设备的安全可靠运行,使其体积最小化,降低设备成本。六氟化硫可作为新一代超高压边缘介质材料。作为气体电子和电气设备的良好气体边缘。是一种理想的电子蚀刻剂,广泛应用于微电子技术领域,在计算机芯片、液晶显示屏等大型集成电路制造中用作等离子体蚀刻和清洗剂。

    目前广泛用于测量空气污染的示踪剂,其缺失距离可达100公里。同时采用六氟化硫替代氟利昂作为制冷剂,对臭氧层无破坏,符合环保和使用性能要求。它是一种制冷剂。该产品可用于有色金属的冶炼和铸造,防止镁及其合金熔体的氧化,铝及其合金熔体的除气和净化。

    在微电子工业中,六氟化硫可用于刻蚀硅表面和去除半导体材料的薄膜,在激光刀光纤制造过程中可用作单薄膜光纤隔离层的掺杂剂。六氟化硫电流断续器额定电压高,不易烧毁。此外,六氟化硫还用于各种加速器、超高压蓄电池、同轴电缆和微波传输的边缘介质。

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